方形真空腔體是堅持內部為真空情況的容器，腔體加工工藝的制作要考慮容積、原料和形狀。

不銹鋼是現在超高真空系統的首要結構資料。其間300系列不銹鋼是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270～900℃作業等利益，在高真空和超高真空系統中，運用廣泛。      　　

近年來，為了下降方形真空腔體的制作本錢，選用鑄造鋁合金來制作腔體也逐步遍及。別的，選用鈦合金來制作特別用處方形真空腔體的比如也不少。 

為了減小腔體內壁的表面積，一般用噴砂或電解拋光的方法來取得平整的表面。超高真空系統的腔體，更多的是運用電解拋光來進行表面處理。

焊接是方形真空腔體制作中重要的環節之一。為防止大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應然后影響焊接質量，一般選用氬弧焊來完結焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射維護氣體氬氣，以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。  　　

超高方形真空腔體的氬弧焊接，方形真空腔體加工工藝原則上必須選用內焊，即焊接面是在真空一側，防止存在死角而發生虛漏。方形真空腔體不允許表里兩層焊接和兩層密封。    　　

方形真空腔體的內壁表面吸附很多的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為完結超高真空，要對腔體進行150～250℃的高溫烘烤，以促進資料表面和內部的氣體趕快放出。烘烤方法有在腔體外壁環繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經濟簡略的烘烤方法是運用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，防止熱量丟失的一起也可使腔體均勻受熱。

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