
焊接是真空腔體制造中最重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣產生化學反應從而影響焊接質量,一般選用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發保護氣體氬氣,以避免熔化后的高溫金屬產生氧化反應。
超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而產生虛漏。
真空腔體的內壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機物,成為影響真空度的放氣源。為實現超高真空,要對腔體進行150~250℃的高溫烘烤,以促進資料外表和內部的氣體趕快放出。烘烤方法有在腔體外壁環繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經濟簡略的烘烤方法是運用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,避免熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。