有些真空工藝會發作許多的塵土，假如塵土隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損，對泵轉子和泵腔構成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無法作業，假如塵土進入真空閥門則會使密封失效而走漏，因此塵土的躲避和過濾己成為添加方形真空腔體的運用壽命，添加生產率的關鍵問題，在有塵土的腔體制造中，要選用塵土過濾器。

在塵土量較少時，能夠由泵油過濾系統濾除，但塵土量較大時，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常作業要運用除塵器。常用精細腔體制造塵土過濾方法有以下幾種：

（1）旋風離心式。進氣口與筒體成偏疼放置，塵土隨氣流旋轉，因離心力作用而沉降在過濾器的底部。

（2）油淋式。在油泵的作用下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流互相作用吸附，混在氣流中的塵土與油一起沉降至油池。

（3）油濕介質粘附式。塵土在氣流作用下磕碰用真空泵油浸濕的介質表面而被粘附，常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。

（4）介質阻遏式。運用介質的機械阻遏作用過濾塵土，常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。

（5）靜電吸附式。運用真空中氣輝光放電構成等離子體，塵土在等離子體中附著電荷，在電場力作用下被驅向電極表面而被捕集。

（6）混合式。將以上幾種過濾方法進行組合構成混合的過濾方法。

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