真空絕緣是一個十分復雜的物理進程，其機理到目前為止仍沒有清晰的結論。從實際使用情況來看，主要有以下幾個方面：

1、電極的幾何形狀

電極的幾何形狀對電場的分布有很大的影響，往往由于幾何形狀不可恰當，引起電場在部分過于會集而導致擊穿，這一點在高電壓的真空產品中特別杰出。

電極邊際的曲率半徑巨細是重要因素。一般來說，曲率半徑大的電極接受擊穿電壓的才能比曲率半徑小的大。

此外，擊穿電壓還和電極面積的巨細成反比，即跟著電極面積的增大而有所下降。面積增大導致耐壓下降的原因主要是放電概率增加。

2、空地距離

真空的擊穿電壓與空地距離有著比較清晰的聯系。實驗標明，當空地距離較小時，擊穿電壓跟著空地距離的增加而線性增加，但跟著空地距離的進一步增加，擊穿電壓的增加減緩，即真空空地發生擊穿的電場強度跟著空地距離的增加而減小。當空地抵達一定的長度后，單靠增加空地距離前進耐壓水平已經十分困難，這時選用多斷口反而比單斷口有利。

一般以為短空地下的電擊穿主要是場致發射引起的，而長空地下的的電擊穿則主要是微粒效應所造成的。

3、電極材料

真空開關作業在10-2Pa以上的高真空，由于此時氣體分子十分稀少，氣體分子的碰撞游離對擊穿已經不起作用，因而擊穿電壓表現出和電極材料有較強的相關性。

真空空地的擊穿電壓跟著電極材料的不同而不同，研究者發現擊穿電壓和材料的硬度與機械強度有關。一般來說，硬度和機械強度較高的材料，往往有較高的絕緣強度。比方，鋼電極在淬火后硬度前進，其擊穿電壓較淬火前可前進80%。

此外，擊穿電壓還和陰極材料的物理常數如熔點、比熱和密度等正相關，即熔點較高的材料其擊穿電壓也較高。比照熱和密度而言亦然。這一問題的本質是在相同熱能的作用下，材料發生熔化的概率越大，則擊穿電壓越低。

4、真空度

閃現了空地擊穿電壓和氣體壓強之間的聯系。由圖能夠看到真空度高于10-2Pa時，擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大，由于氣體分子碰撞游離現象已不復興作用。當氣體壓力從10-2Pa逐漸升高時(真空度下降)，擊穿強度逐漸下降，以后又隨氣壓的增高而增高。從曲線上能夠看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強度基本上堅持不變。這就標明，真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時完全能夠滿意正常的運用需求。

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