方形真空腔體是堅持內部為真空狀態的容器，方形真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。

超高真空體系主要選用不銹鋼材質。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優秀的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、可以在-270～900℃工作等長處，在高真空和超高真空體系中，應用較廣。

為了減小腔體內壁的表面積，一般用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空體系的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表面處理。

方形真空腔體加工

焊接是方形真空腔體制造中最重要的環節之一。一般選用氬弧焊來完成焊接，可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發作化學反應而影響焊接質量，氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發維護氣體氬氣，以避免熔化后的高溫金屬發作氧化反應。

超高方形真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內焊，即焊接面是在真空一側，以免存在死角而發作虛漏。方形真空腔體不允許表里兩層焊接和兩層密封

個大氣壓在1cm2的面積上發生約1kgf的壓力，對直徑20cm的法蘭來講，就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體，因為結構的特殊性使得壓力渙散，腔體的壁厚2～4mm就不會變形。

可是，關于方形腔體，側面的平板上要承受上噸的壓力，有必要通過添加壁厚或設置加強筋，才能避免變形。

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